ABLACJA POLIKRYSZTAŁÓW CR2TE3 Z WYKORZYSTANIEM LASERA ND3+:YAG

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

Grzegorz Wisz

gwisz@ur.edu.pl

Michał Barwiński

barwinski.mi@gmail.com

Piotr Sagan

psagan@ur.edu.pl

Marian Kuźma

kuzma@ur.edu.pl

Abstrakt

W pracy badano proces laserowej ablacji Cr2Te3: dla potrzeb nanoszenia cienkich warstw tego materiału metodą impulsowego osadzania laserowego (PLD). Target przygotowano w formie sprasowanej pastylki  z proszkowego Cr2Te3 domieszkowanego proszkowym Zn. Do odparowania tarczy zastosowano promieniowanie lasera Nd3+:YAG o długości impulsu 20 ns i gęstości energii 16 J/cm2 oraz 34 J/cm2. Metodą EDX zbadano skład powierzchni targetu po ablacji. Stwierdzono nadmiar chromu co wskazuje na jego słabą desorpcję przy zastosowanych parametrach ablacji.

Słowa kluczowe:

ablacja laserowa, cienkie warstwy, mikroskopia elektronowa

Bibliografia

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

ABLACJA POLIKRYSZTAŁÓW CR2TE3 Z WYKORZYSTANIEM LASERA ND3+:YAG. (2014). Informatyka, Automatyka, Pomiary w Gospodarce i Ochronie Środowiska, 4(3), 27-30. https://doi.org/10.5604/20830157.1121339