TECHNOLOGIA I POMIARY MAGNETOOPORU W CIENKOWARSTWOWYCH STRUKTURACH FERROMAGNETYCZNYCH

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

DOI

Jakub Kisała

jakub.kisala@pollub.edu.pl

Karolina Czarnacka

karolina.czarnacka@up.lublin.pl

http://orcid.org/0000-0003-1434-734X
Mateusz Gęca

mati.geca@gmail.com

https://orcid.org/0000-0002-0519-7389
Andrzej Kociubiński

akociub@semiconductor.pl

https://orcid.org/0000-0002-0377-8243

Abstrakt

W pracy przedstawiono technologię otrzymywania struktur warstwowych NiFe/Ti/NiFe w technologii MEMS metodą rozpylania magnetronowego w założeniu mających służyć jako czujniki pół magnetycznych. Wykonano serię próbek na szklanym podłożu o budowie kanapkowej, gdzie poszczególne warstwy stanowiły 100 nm NiFe,10 nm Ti oraz na wierzchu ponownie NiFe o grubości 100 nm. Przeprowadzono pomiary rezystancji stałoprądowej otrzymanych struktur w stałym polu magnetycznym, które było wytwarzane przez magnesy neodymowe oraz elektromagnes. Otrzymane wyniki potwierdzają występowanie zjawisk określanych jako efekt magnetooporowy. Sprawdzony oraz udowodniony został wpływ ułożenia przestrzennego struktur względem wektora stałego pola magnetycznego.

Słowa kluczowe:

statyczne pole magnetyczne, rozpylanie magnetronowe, MEMS, magnetoopór

Bibliografia

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Kisała, J., Czarnacka, K., Gęca, M., & Kociubiński, A. (2020). TECHNOLOGIA I POMIARY MAGNETOOPORU W CIENKOWARSTWOWYCH STRUKTURACH FERROMAGNETYCZNYCH. Informatyka, Automatyka, Pomiary W Gospodarce I Ochronie Środowiska, 10(1), 44–47. https://doi.org/10.35784/iapgos.896